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GC-LTH型气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品配置氩离子化(AID)检测器;采用带吹扫保护气路的六通或十通阀;上述部分与氩气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整及解决方案。
组分检测限:
组分 检测限(ppm)
CO ≤0.1
CH4 ≤0.1
CO2 ≤0.1
O2 ≤0.1
H2 ≤0.1
N2 ≤0.1
操作系统
该仪器通过中心切割与反吹系统可完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测。
去除气体:H2、O2、N2、CO、CO2、CH2、H20等
载气纯化器:惰性气体
可大操作压力:2Mpa
残留浓度:≤20ppb
无死体积取样阀
载气专用减压阀
背压阀控制的进样技术
外型尺寸:580550500(mm)
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